流体計算
圧縮・非圧縮統一解法（CIP-GCUP法）による流体解析コード(Aeolus)を用いたカスタマイズされた計算コードを
提供します。
弊社では、このCIP-GCUP法と他のモジュールを結びつけ、プラズマCVDによる薄膜形成やレーザー加工など
目的に応じたシミュレーターを作成します。
[製品概要]
プラズマCVD計算
下記各モジュールより構成されています。
- CVD装置内流れ解析計算（Aeolus)
- 電場・荷電粒子運動計算
- 化学反応・電離過程計算
- 成膜過程計算
ドライエッチング(RIE)計算
下記各モジュールより構成されています。
- RIE装置内流れ解析計算（Aeolus他）
- 電場・荷電粒子運動計算
- 化学反応・電離過程計算
- 成膜過程計算
レーザー溶接計算
下記各モジュールより構成されています。
- 固体・液体・気体相変化計算（Aeolus)
- レーザー誘起プラズマ計算（反応速度計算）
- 光線追跡計算（壁面吸収と反射の繰り返し計算）
- アシストガス（シールドガス）計算
目的に応じたモジュールとの組み合わせ設定が可能です。
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